반도체 공정장비 공학
오늘날 우리가 살아가고 있는 일상생활 중심에 반도체가 자리 잡고 있다. 4차 산업혁명, 인공지능, 빅 데이터, 가상현실, 증강현실, 사물인터넷, 로봇, 스마트 팩토리로 대표되는 첨단 산업에는 필수적으로 반도체가 사용되고 있다. 반도체 제조 과정에 반드시 필요한 것이 바로 반도체 제조 장비이다. 반도체 제조 장비는 최첨단 기술의 집약체이다. 최첨단 기계, 전기, 전자, 제어, 소프트웨어 기술의 융합체가 반도체 제조 장비이다. 이 책은 반도체 제조 장비를 공부하고 싶어 하는 학생이나 업무적으로 반도체 제조 장비를 이해하여야 할 필요가 있는 일반인들을 위해 이해하기 쉽게 제작하였다