책소개

저온 플라즈마의 물리와 화학 지식, 플라즈마 발생 방법, 진단, 물질 제조 공정의 현재 응용 현황을 제공하고 있다.

이 책은 8장으로 이루어져 있으며 플라즈마 종류와 플라즈마 주 변수들과 함께 일반적인 플라즈마를 정의하고 저온 플라즈마를 중심으로 플라즈마를 만들고 유지시키는 다양한 방법들과 플라즈마에서 일어나는 화학 반응과 플라즈마와 접촉하는 표면에서 일어나는 물리화학적 현상을 설명하고 플라즈마 반응 용기의 형태와 플라즈마 진단방법들을 다루고 있다.

저자소개

목차

역자 서문
저자 서문

1장 플라즈마 기초
1.1 서 론
1.2 플라즈마 정의
1.3 플라즈마 변수들
1.4 플라즈마 존재 조건1.4 플라즈마 존재 조건
1.5 플라즈마 내 하전 입자의 확산1.5 플라즈마 내 하전
입자의 확산
1.6 플라즈마 종류(plasma types)
1.7 연습문제
1.8 참고문헌

2장 저온 플라즈마 발생
2.1 DC 글로우 방전(DC glow discharge)
2.2 라디오 주파수 방전들(radio frequency discharges)
2.3 마이크로파 플라즈마(microwave plasmas)
2.4 전자 사이클로트론 공진 플라즈마(electron
cyclotron resonance plasmas)
2.5 연습문제
2.6 참고문헌

3장 플라즈마 화학작용(plasma chemistry)
3.1 서 론
3.2 용어 정의
3.3 화학 반응들(chemical reactions)
3.4 화학반응사슬(the chemical reaction chain)
3.5 플라즈마 표면 상호작용
3.6 연습문제
3.7 참고문헌

4장 플라즈마 장치(plasma reactor)
4.1 플라즈마 장비
4.2 DC 반응 용기
4.3 RF 반응 용기
4.4 마이크로파 플라즈마 원
4.5 ECR 플라즈마 용기
4.6 자기장을 사용하는 플라즈마 원들
4.7 원거리 PECVD 플라즈마
4.8 반응 용기 클러스터(reactor clusters)
4.9 연습문제
4.10 참고문헌

5장 플라즈마 진단(plasma diagnostics)
5.1 질량 분석
5.2 정전 탐침(electrostatic probes)
5.3 광학적 방법(optical methods)
5.4 연습문제
5.5 참고문헌

6장 표면 개질을 위한 저온 플라즈마 공정
6.1 개 요
6.2 고분자 표면 개질(surface modification of
polymers)
6.3 표면 세정(cleaning)과 애싱(ashing)
6.4 산화(oxidation)
6.5 표면 경화(surface hardening)
6.6 연습문제
6.7 참고문헌

7장 PECVD로 코팅 증착(deposition of coatings by
PECVD)
7.1 유기막 증착
7.2 무기막 증착
7.3 연습문제
7.4 참고문헌

8장 플라즈마 증진 식각(plasma assisted etching)
8.1 서 론
8.2 플라즈마 식각(plasma etching)
8.3 활성 이온 식각(reactive Ion etching, RIE)
8.4 몇몇 물질들의 식각
8.5 식각 동안의 기판 손상
8.6 연습문제
8.7 참고문헌


■ LIST of symbols